GB/T 44513-2024 《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》-国家标准

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标准基础信息

• 标准号：GB/T 44513-2024
• 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
• 标准英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司。主要起草人陈立国 、江大白 、李根梓 、刘会聪 、蒋礼平 、刘胜 、方东明 、夏长奉 、王冰 、周维虎 、许宙 、钟鸣 、张硕 、孙旭辉 、夏燕 、娄亮 、程新利 、杨剑宏 、陈志文 、张中飞 、胡增 、商艳龙 、王阳俊 、高峰 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 、李海全 、钱勇国 。GB/T 44513-2024即将实施本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。

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