GB/T 44839-2024 《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 44839-2024
- 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
- 标准英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司。主要起草人周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、刘景全 、陈立国 、杨剑宏 、陈志文 、焦斌斌 、黄庆安 、聂萌 、张平平 、陈晓梅 、卢永红 、陈思 、王冰 、谢红梅 、刘志广 。GB/T 44839-2024即将实施本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-10:2011。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第10部分：MEMS材料微柱压缩试验方法。
- 标准号
- GB/T 44839-2024
- 发布日期
- 2024-10-26
- 实施日期
- 2025-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L59
- 国际标准分类号
- 31.080.99
31 电子学 31.080 半导体分立器件 31.080.99 其他半导体分立器件 - 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
标准全文
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