GB/T 44928-2024 《微电子学微光刻技术术语》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 44928-2024
- 标准中文名称：微电子学微光刻技术术语
- 标准英文名称：Terms of microlithography technology for microelectronics
国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院微电子研究所。主要起草人陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。GB/T 44928-2024现行
- 标准号
- GB/T 44928-2024
- 发布日期
- 2024-12-31
- 实施日期
- 2024-12-31
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.030
31 电子学 31.030 电子技术专用材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会
- 主管部门
- 国家标准委
标准全文
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