收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 44928-2024 标准中文名称：微电子学微光刻技术术语 标准英文名称：Terms of microlithography technology for microelectronics 国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院微电子研究所。主要起草人陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、 …
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