GB/T 29056-2025 《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 29056-2025
- 标准中文名称：硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国家标准《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、江苏鑫华半导体科技股份有限公司 、四川永祥新能源有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、亚洲硅业（青海）股份有限公司 、青海南玻新能源科技有限公司 、青海丽豪清能股份有限公司 、新疆新特新能材料检测中心有限公司 、湖北江瀚新材料股份有限公司 。 主要起草人 万烨 、郭树虎 、刘见华 、曹俊英 、赵培芝 、吴作木 、宋丹 、王春明 、魏东亮 、李强 、冉祎 、康俊勤 、甘俊 、汤艳 。 GB/T 29056-2012 （全部代替） GB/T 29056-2025 即将实施
- 标准号
- GB/T 29056-2025
- 发布日期
- 2025-10-31
- 实施日期
- 2026-05-01
- 全部代替标准
- GB/T 29056-2012
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准委
标准全文
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