GB/T 46057-2025 《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 46057-2025
- 标准中文名称：微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
国家标准《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学技术大学 、新疆师范大学 、中国科学院合肥物质研究院 、安徽大学 。 主要起草人 丁泽军 、陆大宝 、邹艳波 、毛世峰 、李永钢 、李会民 。 GB/T 46057-2025 即将实施 本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21466:2019。 采标中文名称:微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法。
- 标准号
- GB/T 46057-2025
- 发布日期
- 2025-08-29
- 实施日期
- 2026-03-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准委
标准全文
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