SJ/T 11761-2020 《200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：SJ/T 11761-2020
- 标准中文名称：200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
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- 标准号
- SJ/T 11761-2020
- 发布日期
- 2020-12-09
- 实施日期
- 2021-04-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- L 95
- 国际标准分类号
- 31.55
- 技术归口
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 产品标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
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标准全文
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