收录自国家行业标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 行业标准基础信息 标准号：SJ/T 11761-2020 标准中文名称：200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 收录自国家行业标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准号 SJ/T 11761-2020 发布日期 2020-12-09 实施日期 2021-04-01 制修订 制定 中国标准分类号 L 95 国际标准分类号 31.55 技术归口 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 批准发布部门 工业和信息化部 行业分类 无 标准类别 产品 …