YS/T 987-2021 《氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：YS/T 987-2021
- 标准中文名称：氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法
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- 标准号
- YS/T 987-2021
- 发布日期
- 2021-12-02
- 实施日期
- 2022-04-01
- 制修订
- 修订
- 代替标准
- YS/T 987-2014
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.30
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
- 标准类别
- 方法标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。
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标准全文
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