SJ/T 11495-2015 《硅中间隙氧的转换因子指南》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：SJ/T 11495-2015
- 标准中文名称：硅中间隙氧的转换因子指南
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- 标准号
- SJ/T 11495-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 技术归口
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 方法标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
李静、何秀坤、刘兵 等
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标准全文
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