SJ/T 11517-2015 《电子工业用气体 一氧化碳》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：SJ/T 11517-2015
- 标准中文名称：电子工业用气体 一氧化碳
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- 标准号
- SJ/T 11517-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 技术归口
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 产品标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等
万华、王新鹏、吴平修 等
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标准全文
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