SJ/T 11707-2018 《硅通孔几何测量术语》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：SJ/T 11707-2018
- 标准中文名称：硅通孔几何测量术语
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- 标准号
- SJ/T 11707-2018
- 发布日期
- 2018-02-09
- 实施日期
- 2018-04-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- L04
- 国际标准分类号
- 31.02
- 技术归口
- 全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 信息传输、软件和信息技术服务业
- 标准类别
- 无
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
中国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所
侯芳、郁元卫、吴昊 等
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标准全文
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