YS/T 1031-2015 《化学气相沉积炉》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：YS/T 1031-2015
- 标准中文名称：化学气相沉积炉
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- 标准号
- YS/T 1031-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- H91
- 国际标准分类号
- 77.180.
- 技术归口
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
- 标准类别
- 产品标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
本标准适用于化学气相沉积。
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
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标准全文
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