YS/T 1059-2015 《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：YS/T 1059-2015
- 标准中文名称：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
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- 标准号
- YS/T 1059-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.30
- 技术归口
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
- 标准类别
- 方法标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等
刘英杰、郑华荣、柯尊斌等
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标准全文
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