YS/T 1068-2015 《制备钌靶用钌粉》-行业标准

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行业标准基础信息

  • 标准号:YS/T 1068-2015
  • 标准中文名称:制备钌靶用钌粉

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标准号
YS/T 1068-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
制修订
制定
中国标准分类号
H68
国际标准分类号
77.150.99
技术归口
全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
制造业
标准类别
产品标准

行业标准范围、标准起草单位和标准起草人

备案公告:

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。

贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

谭志龙、郭俊梅、熊晓东等


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标准全文


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