YS/T 14-2015 《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：YS/T 14-2015
- 标准中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
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- 标准号
- YS/T 14-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 制修订
- 修订
- 代替标准
- YS/T 14-1991
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.
- 技术归口
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
- 标准类别
- 方法标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
马林宝、杨帆、葛华等
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标准全文
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