YS/T 839-2012 《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：YS/T 839-2012
- 标准中文名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
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- 标准号
- YS/T 839-2012
- 发布日期
- 2012-11-07
- 实施日期
- 2013-03-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- H68
- 国际标准分类号
- 77.120.99
- 技术归口
- 全国有色金属标准化中心
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 无
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
备案公告：
中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
高英、武斌 等
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标准全文
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