YS/T 1780-2025 《氧化铟镓锌靶材》-行业标准

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行业标准基础信息

  • 标准号:YS/T 1780-2025
  • 标准中文名称:氧化铟镓锌靶材

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标准号
YS/T 1780-2025
发布日期
2025-04-10
实施日期
2025-11-01
制修订
制定
中国标准分类号
H62
国际标准分类号
77.150.99
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
制造业
标准类别
产品标准

行业标准范围、标准起草单位和标准起草人

适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料,以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌靶材,主要应用于新型显示器件薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)等产业,用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。


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标准全文


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