SJ/T 11451-2022 《扩散炉能源消耗规范》-行业标准
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行业标准基础信息
- 标准号：SJ/T 11451-2022
- 标准中文名称：扩散炉能源消耗规范
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- 标准号
- SJ/T 11451-2022
- 发布日期
- 2022-10-20
- 实施日期
- 2023-01-01
- 制修订
- 修订
- 代替标准
- SJ/T 11451—2013
- 中国标准分类号
- L 97
- 国际标准分类号
- 27.01
- 技术归口
- 中国电子技术标准化研究院
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 方法标准
行业标准范围、标准起草单位和标准起草人
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
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标准全文
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