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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CAS 304—2018 |
| 中文标题 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 |
| 英文标题 | Magnetron sputtering silicon targets and bound targets |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | L19 |
| 国民经济分类 | C381 电机制造 |
| 发布日期 | 2018年05月29日 |
| 实施日期 | 2018年05月29日 |
| 起草人 | 张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科 |
| 起草单位 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学 |
| 范围 | 本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。 |
| 主要技术内容 | 本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国标准化协会 |
| 登记证号 | 50000241-6 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 国际合作 书刊编辑 专业展览 业务培训 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 高建忠 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区增光路33号 | 邮编 : 100048 |
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