收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CCGA 30003—2019 |
| 中文标题 | 超纯三氟化氮 |
| 英文标题 | Ultra pure nitrogen trifluoride |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2019年10月29日 |
| 实施日期 | 2020年01月29日 |
| 起草人 | 郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳 |
| 起草单位 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国工业气体工业协会 |
| 登记证号 | 51100000500002459D | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 业务培训 专业展览 书刊编辑 技术交流 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 洑春干 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区惠新南里6号天建大厦二层 202室 | 邮编 : 100029 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。