T/CEMIA 006—2018 膜厚监控用石英晶振片-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CEMIA 006—2018
中文标题  膜厚监控用石英晶振片
英文标题  Quartz crystal resonator for film thickness control
国际标准分类号  31.140
中国标准分类号  L 21 石英晶体
国民经济分类  C419 其他未列明制造业
发布日期  2018年12月14日
实施日期  2019年03月14日
起草人  王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔
起草单位  唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。
范围  本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
主要技术内容  本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开

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团体详细信息
团体名称中国电子材料行业协会
登记证号51100000500003195B发证机关中华人民共和国民政部
业务范围行业管理,信息交流,业务培训,国际合作,咨询服务
法定代表人/负责人潘林
依托单位名称
通讯地址北京市朝阳区胜古中路2号院5号楼金基业大厦711/716室邮编 : 100029

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