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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CESA 1081—2020 |
| 中文标题 | 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求 |
| 英文标题 | Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer |
| 国际标准分类号 | 13.020.01 环境和环境保护综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2020年06月20日 |
| 实施日期 | 2020年06月20日 |
| 起草人 | 李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华 |
| 起草单位 | 中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。
本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国电子工业标准化技术协会 |
| 登记证号 | 5110000050001381XW | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业指导 信息交流 业务培训 咨询服务 国际合作 |
| 法定代表人/负责人 | 刘志宏 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区万寿路27号 | 邮编 : 100036 |
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