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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CNIA 0060—2020 |
| 中文标题 | 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 77.040.01 金属材料试验综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2020年05月27日 |
| 实施日期 | 2020年08月01日 |
| 起草人 | 刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明 |
| 起草单位 | 宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国有色金属工业协会 |
| 登记证号 | 50001331-8 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈全训 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区复兴路乙12号 | 邮编 : 100814 |
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