T/CNIA 0060—2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CNIA 0060—2020
中文标题  多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
英文标题  
国际标准分类号  77.040.01 金属材料试验综合
中国标准分类号  
国民经济分类  C356 电子和电工机械专用设备制造
发布日期  2020年05月27日
实施日期  2020年08月01日
起草人  刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
起草单位  宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
范围  
主要技术内容  本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定,测定范围为0.02×10-9~1×10-5(v/v)。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开

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团体详细信息
团体名称中国有色金属工业协会
登记证号50001331-8发证机关中华人民共和国民政部
业务范围行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务
法定代表人/负责人陈全训
依托单位名称
通讯地址北京市海淀区复兴路乙12号邮编 : 100814

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