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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CNIA 0061—2020 |
| 中文标题 | 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 77.040.01 金属材料试验综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2020年05月27日 |
| 实施日期 | 2020年08月01日 |
| 起草人 | 严大洲、万烨、赵雄、楚东旭、刘凤华、蔡延国、邱艳梅、赵娟龙 |
| 起草单位 | 洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的测定。各元素测定下限为0.01 ng/g。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国有色金属工业协会 |
| 登记证号 | 50001331-8 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈全训 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区复兴路乙12号 | 邮编 : 100814 |
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