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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CNIA 0062—2020 |
| 中文标题 | 电子工业用高纯氢氟酸 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.060.01 无机化学综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C261 基础化学原料制造 |
| 发布日期 | 2020年05月27日 |
| 实施日期 | 2020年08月01日 |
| 起草人 | 杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟 |
| 起草单位 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。
本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国有色金属工业协会 |
| 登记证号 | 50001331-8 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈全训 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区复兴路乙12号 | 邮编 : 100814 |
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