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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA 1—2019 |
| 中文标题 | 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范 |
| 英文标题 | The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | G 04 |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2019年04月17日 |
| 实施日期 | 2019年10月10日 |
| 起草人 | 郑秋艳，李翔宇，丁成，孙江涛，计燕秋，孙建。 |
| 起草单位 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。 |
| 范围 | 本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。 |
| 主要技术内容 | 本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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