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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA 2—2019 |
| 中文标题 | 集成电路用过氧化氢 |
| 英文标题 | Hydrogen peroxide for Intergrated circuits |
| 国际标准分类号 | 71.060.20 氧化物 |
| 中国标准分类号 | G 64 |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2019年04月17日 |
| 实施日期 | 2019年10月10日 |
| 起草人 | 刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平。 |
| 起草单位 | 苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。 |
| 范围 | 本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 |
| 主要技术内容 | 本标准规定了集成电路用过氧化氢产品的性状要求、技术规格和指标；含量测定、色度测定、酸度测定、总有机碳测定、阴离子测定、金属离子测定、颗粒测定等测定方法；还规定了检验规则，及标志、包装、运输和储存要求等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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