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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA 3—2020 |
| 中文标题 | 集成电路用六氯乙硅烷 |
| 英文标题 | Hexachlorodisilane for integrated circuit |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | G86 |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2020年02月24日 |
| 实施日期 | 2020年04月24日 |
| 起草人 | 赵雄、万烨、严大洲、林俊元、崔日、李军、常欣、赵宇、张园园、郭树虎、张啸虎。 |
| 起草单位 | 洛阳中硅高科技有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、中巨芯科技有限公司。 |
| 范围 | 本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。 |
| 主要技术内容 | 本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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