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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA 4.1—2020 |
| 中文标题 | 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类 |
| 英文标题 | ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | G30 |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2020年12月31日 |
| 实施日期 | 2021年03月01日 |
| 起草人 | 傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影 |
| 起草单位 | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 范围 | 本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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