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标准详细信息 |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/SICA 001—2020 |
中文标题 | 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸 |
英文标题 | Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry |
国际标准分类号 | 13.030.99 有关废物的其他标准 |
中国标准分类号 | Z00 |
国民经济分类 | N772 环境治理业 |
发布日期 | 2020年04月29日 |
实施日期 | 2020年06月01日 |
起草人 | 徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆 |
起草单位 | 上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司 |
范围 | |
主要技术内容 | 本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为 ,硫酸(H2SO4)≥60W/ %;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/ %;铁(Fe)≤0.002W/ %;透明度≥100/mm;色度,深于标准色度;灰分≤0.01 W/ %;砷(As)≤ 0.001W/ %;铅(Pb)≤0.02 W/ %。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 查看 |
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团体详细信息 |
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团体名称 | 上海市集成电路行业协会 |
登记证号 | 51310000501778005G | 发证机关 | 上海市民政局 |
业务范围 | 行业调研、产品评测、会展,技术培训、交流、合作,编辑出版、咨询服务,承担政府授权的职能 |
法定代表人/负责人 | 雷海波 |
依托单位名称 | |
通讯地址 | 上海市浦东新区碧波路500号209室 | 邮编 : 201203 |
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