T/SICA 001—2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/SICA 001—2020
中文标题  钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
英文标题  Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry
国际标准分类号  13.030.99 有关废物的其他标准
中国标准分类号  Z00
国民经济分类  N772 环境治理业
发布日期  2020年04月29日
实施日期  2020年06月01日
起草人  徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆
起草单位  上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司
范围  
主要技术内容  本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为 ,硫酸(H2SO4)≥60W/ %;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/ %;铁(Fe)≤0.002W/ %;透明度≥100/mm;色度,深于标准色度;灰分≤0.01 W/ %;砷(As)≤ 0.001W/ %;铅(Pb)≤0.02 W/ %。
是否包含专利信息  
标准文本  查看

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团体详细信息
团体名称上海市集成电路行业协会
登记证号51310000501778005G发证机关上海市民政局
业务范围行业调研、产品评测、会展,技术培训、交流、合作,编辑出版、咨询服务,承担政府授权的职能
法定代表人/负责人雷海波
依托单位名称
通讯地址上海市浦东新区碧波路500号209室邮编 : 201203

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