T/WLJC 57—2019 晶片精密研磨盘-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/WLJC 57—2019
中文标题  晶片精密研磨盘
英文标题  Precision grinding disc for wafers
国际标准分类号  25.080.50 磨床和抛光机
中国标准分类号  L 97
国民经济分类  C342 金属加工机械制造
发布日期  2019年04月22日
实施日期  2019年04月22日
起草人  李正良、张雷、麻江峰、丁昆
起草单位  台州市永安机械有限公司、温岭市机床装备行业协会
范围  本标准规定了晶片精密研磨盘的规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包 装、运输和贮存。 本标准适用于研磨晶片的精密研磨盘。
主要技术内容  标准名称中的“晶片”包括:
——半导体材料晶片,如:硅单晶Si,锗单晶Ge等;
——复合半导体材料晶片,如:GaAs,GaN,InP等;
——光电材料晶片,如:LiNbO3,BBO等;
——超硬材料晶片,如蓝宝石Sapphire,碳化硅SiC等。
标准名称中的“精密研磨盘”区别于“粗研磨盘”。
标准给出了晶片研磨盘的12个规格型号,包括了国内晶片研磨盘的主要规格型号。
精密研磨盘的关键技术指标是平面度和平行度,标准中对各规格的研磨盘分别给出了平面度和平行度要求,规定的指标代表了国内一流、国际先进水平。
是否包含专利信息  
标准文本  查看

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团体详细信息
团体名称温岭市机床装备行业协会
登记证号513310815026384260发证机关温岭市民政局
业务范围机床装备行业自律管理、业务交流、职业培训、技术协作、市场调研、商展考察、法规政策宣传、承办委托事项、信息咨询服务及相关活动。
法定代表人/负责人阮思群
依托单位名称
通讯地址温岭市太平街道北山路89号邮编 : 317500

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