T/WLJC 58—2019 晶片精密研磨盘用修正轮-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/WLJC 58—2019 |
| 中文标题 | 晶片精密研磨盘用修正轮 |
| 英文标题 | Dressing wheel for wafers precision grinding disc |
| 国际标准分类号 | 25.080.50 磨床和抛光机 |
| 中国标准分类号 | L 97 |
| 国民经济分类 | C342 金属加工机械制造 |
| 发布日期 | 2019年04月22日 |
| 实施日期 | 2019年04月22日 |
| 起草人 | 李正良、张雷、麻江峰、丁昆 |
| 起草单位 | 台州市永安机械有限公司、温岭市机床装备行业协会 |
| 范围 | 本标准规定了晶片精密研磨盘用修正轮的型式规格、技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于晶片精密研磨盘用修正轮。 |
| 主要技术内容 | 标准名称中的“研磨盘”是指晶片双面研磨机的上、下研磨盘。 修正轮的材质为灰铸铁或球墨铸铁，用于铸铁研磨盘的修整。外形为齿轮状，厚度25-40毫米，正反面开有刮研槽。 标准给出了修正轮常用的6种结构型式，以及6种规格的外径和厚度尺寸、外圈的齿数和模数。 标准中对修正轮三项关键指标规定的尺寸公差，代表了国内一流、国际先进技术水平。 1）修正轮整个工作面的平面度，本标准规定应≤0.02 mm； 2）修正轮正反两面的平行度，本标准规定应≤0.005 mm； 3）修正轮4个或6个为一组，组内各修正轮之间的厚度误差，本标准规定应≤0.02 mm。 |
| 是否包含专利信息 | 是 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 温岭市机床装备行业协会 | ||
| 登记证号 | 513310815026384260 | 发证机关 | 温岭市民政局 |
| 业务范围 | 机床装备行业自律管理、业务交流、职业培训、技术协作、市场调研、商展考察、法规政策宣传、承办委托事项、信息咨询服务及相关活动。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 阮思群 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 温岭市太平街道北山路89号 | 邮编 : 317500 | |