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标准详细信息 |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/ZSA 72—2019 |
中文标题 | 碳化硅单晶 |
英文标题 | Monocrystalline Silicon Carbide |
国际标准分类号 | 29.045 |
中国标准分类号 | H80/84 |
国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
发布日期 | 2019年12月31日 |
实施日期 | 2020年03月01日 |
起草人 | 陆敏、彭同华、郑红军、陈鹏、刘祎晨、王文军、林健、闫果果、刘春俊、 何丽娟、钮应喜、彭燕。 |
起草单位 | 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司。 |
范围 | 本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。 |
主要技术内容 | 碳化硅材料是继第一代半导体材料(以硅为代表)和第二代半导体材料(以砷化镓和磷化铟为代表) 之后,在近十年发展起来的第三代新型半导体材料。其主要应用领域有LED固态照明、电力电子和微波射频器件。该材料具有宽禁带、高漂移速度、高击穿电场、高热导率、抗辐射等优良特性,在高温、高压、高频、高功率等电子应用领域和航天、军工、强辐射场等极端环境应用有着不可替代的优势。碳化硅材料已成为全球半导体产业的前沿和制高点,随着碳化硅产业的发展,产业链分工细化是必然的趋势, 会大量出现只专门加工碳化硅晶片的厂家,碳化硅单晶会单独交易,因此有必要单独制定碳化硅单晶标准。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
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团体详细信息 |
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团体名称 | 中关村标准化协会 |
登记证号 | 51110000MJ0111906XH | 发证机关 | 北京市民政局 |
业务范围 | 开展在中关村标准化领域内的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、国际交流 |
法定代表人/负责人 | 王钧 |
依托单位名称 | |
通讯地址 | 北京市海淀区首体南路2号 | 邮编 : 100044 |
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