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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZZB 0093-2016 |
| 中文标题 | 集成电路用高纯钛溅射靶材 |
| 英文标题 | High-purity sputtering titanium target used in integrated circuit |
| 国际标准分类号 | 77.150.50 钛产品 |
| 中国标准分类号 | H64 稀有轻金属及其合金 |
| 国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
| 发布日期 | 2016年09月10日 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
| 起草人 | |
| 起草单位 | 本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。
本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。
本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。
本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 浙江省品牌建设联合会 |
| 登记证号 | 51330000MJ8700297R | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
| 业务范围 | 开展相关研究，参与标准制定、发布，认证与监督，品牌培育，人才培训、品牌保护和宣传。 |
| 法定代表人/负责人 | 陈自力 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 浙江省杭州市天目山路222号2号楼1321室 | 邮编 : 310007 |
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