T/ZZB 1373—2019 7N 光电子级超纯氨-团体标准
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标准详细信息 | |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/ZZB 1373—2019 |
中文标题 | 7N 光电子级超纯氨 |
英文标题 | 7N photoelectric class hyperpure ammonia |
国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
中国标准分类号 | G86 |
国民经济分类 | C261 基础化学原料制造 |
发布日期 | 2019年11月27日 |
实施日期 | 2019年12月31日 |
起草人 | 本标准主要起草人:陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕(排名不分先后)。 |
起草单位 | 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位:海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位:浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司(排名不分先后)。 |
范围 | |
主要技术内容 | 本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式: NH3。 相对分子质量: 17.031(按 2016 年国际相对原子量)。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 查看 |
团体详细信息 | |||
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团体名称 | 浙江省品牌建设联合会 | ||
登记证号 | 51330000MJ8700297R | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
业务范围 | 开展相关研究,参与标准制定、发布,认证与监督,品牌培育,人才培训、品牌保护和宣传。 | ||
法定代表人/负责人 | 陈自力 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 浙江省杭州市天目山路222号2号楼1321室 | 邮编 : 310007 |