T/CATSI 09010—2021 光学真空腔体洁净度检测规范-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CATSI 09010—2021 |
| 中文标题 | 光学真空腔体洁净度检测规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 17.180.01 光学和光学测量综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C404 光学仪器及眼镜制造 |
| 发布日期 | 2021年08月25日 |
| 实施日期 | 2021年08月25日 |
| 起草人 | 赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫一心 |
| 起草单位 | 北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 第 3章 术语、定义和缩略语 为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。 第4章 真空腔体污染物 本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。 第5章 洁净度标准 本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。 第6章 检测准备 本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。 第7章 检测与结果 本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。 附录A 附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 | |||
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| 团体名称 | 中国技术监督情报协会 | ||
| 登记证号 | 511000005000005848 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术交流，业务培训，书刊编辑，国际合作，咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 夏爱民 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路4号 | 邮编 : 100191 | |