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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 002—2021 |
| 中文标题 | 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 |
| 英文标题 | Generic specification for high precision magnetron sputtering coating plant |
| 国际标准分类号 | 23.160 |
| 中国标准分类号 | J 78 |
| 国民经济分类 | C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 |
| 发布日期 | 2021年06月28日 |
| 实施日期 | 2021年06月28日 |
| 起草人 | 李晓刚、聂鹏、叶俊文、吴标平、黎子辉、吴洽、冀鸣、石澎、黄志云、胡双丽、章艺锋、邓志雄。 |
| 起草单位 | 中山凯旋真空科技股份有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编码所、华南理工大学、中山市博顿光电科技有限公司、中山火炬职业技术学院。 |
| 范围 | 本文件规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于极限压力在10-5 Pa～10-3 Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。 |
| 主要技术内容 | 规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5 Pa～10-3 Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
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