T/ICMTIA PC007—2021 集成电路用氢氟酸-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA PC007—2021 |
| 中文标题 | 集成电路用氢氟酸 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2021年05月31日 |
| 实施日期 | 2021年07月30日 |
| 起草人 | 陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙 |
| 起草单位 | 中巨芯科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。 分子式：HF 相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量） |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 | |