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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/NXCL 004—2021 |
| 中文标题 | 旋转硅靶材 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2021年11月11日 |
| 实施日期 | 2021年11月11日 |
| 起草人 | 盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮 |
| 起草单位 | 北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷、旋转硅靶晶型、搭接率、表面质量和衬管材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、外观质量、内部缺陷、晶体形态、晶粒大小、搭接率、圆度和同轴度的测量方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 宁夏材料研究学会 |
| 登记证号 | 51640000MJX1568802 | 发证机关 | 宁夏回族自治区民政厅 |
| 业务范围 | 宣传科技知识，促进学术交流，承担科技咨询、成果评价，出版学术资料，召开学术研讨会议、报告、讲座。 |
| 法定代表人/负责人 | 陈宇红 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 宁夏银川市西夏区文昌北街204号 | 邮编 : 750021 |
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