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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SZMES 3—2021 |
| 中文标题 | 薄膜应力测定 基片弯曲法 |
| 英文标题 | Determination of the film stress—Substrate curvature method |
| 国际标准分类号 | 25.220.01 表面处理和镀涂综合 |
| 中国标准分类号 | CCS A29 |
| 国民经济分类 | C336 金属表面处理及热处理加工 |
| 发布日期 | 2021年05月28日 |
| 实施日期 | 2021年06月01日 |
| 起草人 | 赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣。 |
| 起草单位 | 深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院。 |
| 范围 | 本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。
本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。
测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲率半径和基片（镀膜面）曲率半径，利用斯东尼（Stoney)公式，计算得出薄膜应力。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 深圳市机械工程学会 |
| 登记证号 | 51440300502681707R | 发证机关 | 深圳市民政局 |
| 业务范围 | 学术研讨，技术交流，咨询服务，技术培训 |
| 法定代表人/负责人 | 杜建铭 |
| 依托单位名称 | 深圳市机械工程学会 |
| 通讯地址 | 深圳市南山区深圳大学南区机电大楼S722 | 邮编 : 518000 |
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