收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/ZOIA 30001—2022 中文标题 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法 英文标题 国际标准分类号 31.260 中国标准分类号 L 50 国民经济分类 C3990 其他电子设备制造 发布日期 2022年12月29日 实施日期 2022年12月29日 起草人 陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯 起草单位 中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科 …