收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIE 132—2022 中文标题 磁控溅射设备薄膜精度测试方 英文标题 国际标准分类号 23.160 中国标准分类号 国民经济分类 I6520 集成电路设计 发布日期 2022年08月10日 实施日期 2022年08月10日 起草人 赵巍胜、张博宇、程厚义、Sylvain EIMER、彭守仲、许涌、Pierre VALLOBRA、王子路、姚宇暄、许人友、葛继尧、杜寅昌、杜鸿基、李殿浦、杨玉杰、王戈飞、刘宏喜、郭玮、何帆。 起草单位 北京航空航天大学、合肥致真精密设备有限公 …