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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 272—2022 |
| 中文标题 | 电子工业用高纯氯化氢气体 |
| 英文标题 | High purity hydrogen chloride gases for electronic industry |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | G 86 |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2022年12月29日 |
| 实施日期 | 2022年12月31日 |
| 起草人 | 李飞明、茅天峰、陈公哲、张丽丽、陶建春、邱俊 |
| 起草单位 | 浙江瑞亨电子材料有限公司、上海亿钶气体有限公司、上海亿钶工程技术有限公司、美新半导体（绍兴）有限公司、江苏元佳新材料有限公司、中国中小商业企业协会 |
| 范围 | 本文件适用于以工业合成氯化氢或其他来源工业氯化氢为原料经纯化制得的气体，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全警示。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 王民 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区新街口外大街 8 号一幢 A 座 419 室 | 邮编 : 100088 |
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