T/CIE 132—2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CIE 132—2022 |
| 中文标题 | 磁控溅射设备薄膜精度测试方 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 23.160 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2022年08月10日 |
| 实施日期 | 2022年08月10日 |
| 起草人 | 赵巍胜、张博宇、程厚义、Sylvain EIMER、彭守仲、许涌、Pierre VALLOBRA、王子路、姚宇暄、许人友、葛继尧、杜寅昌、杜鸿基、李殿浦、杨玉杰、王戈飞、刘宏喜、郭玮、何帆。 |
| 起草单位 | 北京航空航天大学、合肥致真精密设备有限公司、合肥致真智能装备有限公司、北京维开科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、致真存储(北京)科技有限公司、深圳亘存科技有限责任公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准给出了磁控溅射设备薄膜精度评价的术语、测试原理、被测件、测试环境、测试设备、测试程序等。 本标准适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国电子学会 | ||
| 登记证号 | 社证字第4079号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 教育普及 书刊编辑 评审鉴定 专业展览 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 徐晓兰 | ||
| 依托单位名称 | 中华人民共和国工业和信息化部 | ||
| 通讯地址 | 北京市玉渊潭南路普惠南里13号 | 邮编 : 100036 | |