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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/DLSHXH 007—2022 |
| 中文标题 | 电子特气 三氟碘甲烷 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2022年09月30日 |
| 实施日期 | 2022年10月20日 |
| 起草人 | 施旖旎、赵银凤 、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛 |
| 起草单位 | 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。
本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料，经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 大连市石油和化工行业协会 |
| 登记证号 | 51210200732781113W | 发证机关 | 辽宁省大连市民政局 |
| 业务范围 | 技术改造、评估、质量管理监督、业务培训、咨询服务等 |
| 法定代表人/负责人 | 孙洪明 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 大连市甘井子区商城花园街2号 | 邮编 : 116000 |
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