T/DLSHXH 008—2022 电子特气 双(二乙基氨基)硅烷-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/DLSHXH 008—2022
中文标题  电子特气 双(二乙基氨基)硅烷
英文标题  
国际标准分类号  71.100.20 工业气体
中国标准分类号  
国民经济分类  C266 专用化学产品制造
发布日期  2022年09月30日
实施日期  2022年10月20日
起草人  施旖旎、焦中鹏 、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智
起草单位  大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
范围  
主要技术内容  本标准规定了双(二乙基氨基)硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。
本标准适用于以工业级双(二乙基氨基)硅烷为原料,经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双(二乙基氨基)硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开

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团体详细信息
团体名称大连市石油和化工行业协会
登记证号51210200732781113W发证机关辽宁省大连市民政局
业务范围技术改造、评估、质量管理监督、业务培训、咨询服务等
法定代表人/负责人孙洪明
依托单位名称
通讯地址大连市甘井子区商城花园街2号邮编 : 116000

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