收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 005—2022 |
| 中文标题 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 |
| 英文标题 | Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment |
| 国际标准分类号 | 23.160 |
| 中国标准分类号 | J 78 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2022年03月28日 |
| 实施日期 | 2022年03月28日 |
| 起草人 | 卫红、刘乔、侯少毅、胡强、胡琅、王凤双、刘彭义、陈科球、唐振方、武文全、徐中武、聂鹏、王威。 |
| 起草单位 | 季华实验室、暨南大学、佛山市佛欣真空技术有限公司、中山共享光电真空技术有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司、佛山兴翰科技有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。通过对这些内容的描述，可推知能够适用于半导体装备用电容薄膜真空计的测试方法及过程。
半导体制造过程工艺复杂且多数工艺需在真空条件下进行，因此，真空度的准确测量可保障半导体制造工艺的稳定性。半导体装备用电容薄膜真空计是一种用于半导体制造过程中真空度测量的高性能电容薄膜真空计，相比于其它类型电容薄膜真空计，除了需采用读值精度衡量真空计性能外，对重复性精度以及零点、满度温度系数也有较高的要求。
本文件对如何测试特殊类型的电容薄膜真空计未作出指导，此类指导将在其它标准中提供。
本文件适用于测量范围在0.01 Pa～100 kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试。 |
| 主要技术内容 | 规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范围在0.01 Pa～100 kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。