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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 006—2022 |
| 中文标题 | 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法 |
| 英文标题 | Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply |
| 国际标准分类号 | 19.080 |
| 中国标准分类号 | K 80 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2022年05月27日 |
| 实施日期 | 2022年05月27日 |
| 起草人 | 胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球。 |
| 起草单位 | 季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学。 |
| 范围 | 本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。
本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。 |
| 主要技术内容 | 规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
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