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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 007—2022 |
| 中文标题 | 射频电源动态阻抗测试方法 |
| 英文标题 | Test method for dynamic impedance of RF generator |
| 国际标准分类号 | 19.080 |
| 中国标准分类号 | K 80 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2022年07月11日 |
| 实施日期 | 2022年07月11日 |
| 起草人 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞。 |
| 起草单位 | 深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。
本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。 |
| 主要技术内容 | 规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
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